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男，1964年生，1997年于吉林大学获博士学位。1991－2001年在吉林大学超硬材料国家重点实验室工作，任教授。1997-1999年、2001年、2004年分别在德国夫琅和费（Fraunhofer)研究所、德国柏林自由大学物理系和日本国立材料研究所（NIMS）从事合作研究。现任中国科学院物理研究所技术部主任、微加工实验室主任、研究员、博士生导师。